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激光化学气相反应生长Ti(C,N)薄膜的成分及微观结构
激光化学气相反应生长Ti(C,N)薄膜的成分及微观结构
来源 :材料研究学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dgmlovett
【摘 要】
:
运用XRD,EPMA,TEM等手段分析在Ti-6Al-4V基材上用激光化学气相色反应生长的Ti(C,N)薄膜的成分,结构,显微结构,可在基材表面的形成大面积均匀的Ti(C,N)膜层,为无明显择优取向的等轴纳米晶,其中有少量的Ti2N相,且Al,V含量低于基材
【作 者】
:
张炳春
李梅
【机 构】
:
中国科学院金属研究所
【出 处】
:
材料研究学报
【发表日期】
:
1998年6期
【关键词】
:
激光
化学气相反应
薄膜
TI(C
N)
微观结构
laser
chemical vapour growth of thin film
Ti(C
N)
【基金项目】
:
863计划新材料领域资助
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运用XRD,EPMA,TEM等手段分析在Ti-6Al-4V基材上用激光化学气相色反应生长的Ti(C,N)薄膜的成分,结构,显微结构,可在基材表面的形成大面积均匀的Ti(C,N)膜层,为无明显择优取向的等轴纳米晶,其中有少量的Ti2N相,且Al,V含量低于基材。
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