论文部分内容阅读
在概述微机电系统刻蚀工艺模拟研究进展的基础上,讨论了微表面反应模型法、单元自动控制法、基于刻蚀速率数据库的三维各向异性刻蚀模拟等典型的刻蚀工艺模拟的方法,综合分析了这些方法的特点、应用场合和不足,提出了提高刻蚀工艺模拟精度和效率的技术途径.
典型微加工刻蚀工艺模拟方法及其分析
【摘 要】
：
在概述微机电系统刻蚀工艺模拟研究进展的基础上,讨论了微表面反应模型法、单元自动控制法、基于刻蚀速率数据库的三维各向异性刻蚀模拟等典型的刻蚀工艺模拟的方法,综合分析
【机 构】
：
长江大学机械工程学院,武汉理工大学机电工程学院
【出 处】
：
机械制造
【发表日期】
：
2004年11期
其他文献
结合高职院校的人才培养目标，笔者在多年从事高职统计学的教学中总结出培养学生能力可行的方法。本文从高职院校统计教学中如何培养大学生的知识能力、实践能力、科研能力等角
本工作设计了一种低层错能并具有稳定奥氏体组织的轻质Fe-Mn-Al-Nb系低温钢,经680℃回火2.5 h,其屈服和抗拉强度分别达到了442 MPa和658 MPa,且低温韧性达到了148 J,相比传统
在市场经济瞬息万变的形势下，会计电算化的应用，能为企业提供及时、准确和完整的财务信息，从而增强决策有用性，提高企业管理效率和经济效益，不断提升企业在市场中的核心竞争力。但
随着高炉产量的提高,宝钢3号高炉炉前出铁状况出现了一些变化,主要是见渣率下降,重叠出铁次数和日均铁次明显上升,给高炉操作带来一些负面影响.通过优化煤气流分布、控制合理
患儿,男性,11个月,因“体检发现心脏杂音3个月余”就诊。查体:体温36.5℃,脉搏132次/min,呼吸35次/min,左上肢血压77/31 mmHg(1 mmHg=0.133 kPa),右上肢血压99/38 mmHg,下肢
引导基金作为一种创新型的政府投资方式，正在被越来越多的政府认识和运用。从我国国家级创业投资引导基金的现实背景入手，着重分析了调动民间资本参股的可行性，以期推动引导基金
我国工程机械行业已形成了具有相当规模和较强生产能力的完整体系。但在国际化发展中，其组织结构僵化，不适应国际化发展趋势，必须进行组织结构调整，使其组织结构满足国际化需要。