【摘 要】
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介绍洁净室压差平衡建立的基本原理及方法,总结了洁净室压差控制的要求,并对洁净室压差控制的方法进行了总结与探讨。洁净室压差建立的关键是在系统风量平衡调试的基础上,微调可
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介绍洁净室压差平衡建立的基本原理及方法,总结了洁净室压差控制的要求,并对洁净室压差控制的方法进行了总结与探讨。洁净室压差建立的关键是在系统风量平衡调试的基础上,微调可变量,建立压差平衡。
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