【摘 要】
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高精度非接触式位移传感器有着广泛的应用。本文讨论其中一种采用光学方法实现非接触测量的光谱共焦位移传感器,阐述该传感器的工作原理,给出了该系统的设计方法和评价方法。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院,长春理工大学
【基金项目】
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吉林省科技厅资助项目(20080339)
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高精度非接触式位移传感器有着广泛的应用。本文讨论其中一种采用光学方法实现非接触测量的光谱共焦位移传感器,阐述该传感器的工作原理,给出了该系统的设计方法和评价方法。最后基于光学设计软件CODEV的宏语言和数学软件MATLAB设计出了一个测量范围为0～1.173mm的光谱共焦位移传感器物镜。该物镜采用一个单透镜和双胶合透镜组合的结构,在工作波长范围内,各个单波长对应最大的RMS半径为2.8μm,其测量精度优于5μm,波长离焦量和波长之间线性度通过线性回归拟合得出判定系数为0.9859,测量的线性度优异。
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