微波测量粗糙度

来源 :电子测量与仪器学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:biao_oaib
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本文根据微波与金属相互作用产生散射的特性,采用新颖小型微带天线辐射器和对人体无害的、能接收被金属表面散射的微波功率的有耗振子天线,进行各级标准样块粗糙度与微波被散射功率的实验测量研究,设计制作了一套微波测量粗糙度装置。该装置测量R.值的范围为0.01~2.00μm,其测量误差不大于5%。测量速度快,操作简便,成本低廉,具有一定的实用价值,易于推广应用。 In this paper, based on the scattering characteristics of the interaction between microwave and metal, a new small microstrip antenna radiator and harmless to the human body can receive microwave power dissipated by the metal surface of the dissipative oscillator antenna, the standard block roughness at all levels And microwave scattering power of experimental measurement research, design and manufacture of a set of microwave measuring roughness device. The device measures R. Range of 0.01 ~ 2.00μm, the measurement error of not more than 5%. Measurement speed, easy to operate, low cost, has a certain practical value, easy to promote the application.
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