Study on Environmental Multi-parameter Sensor Based on MEMS

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ssskkkmmm77
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<正>A new membrane type Al_2O_3 micromachining material is used.We develop an environmental multi-parameter detection micro-system,which implements the detection to temperature,humidity,wind speed,and CO.The test results illustrate that the heat-rele
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以乙醇为分散剂和保护剂,采用反向化学共沉淀法,制备了Y2O3-ZrO2纳米晶.结果表明:所制备的纳米晶为立方晶系;Y2O3-ZrO2纳米晶呈球形,当焙烧温度为900℃时,粒子粒径约30 nm,粒
<正>Porous materials used for humidity sensing have been commercialized.In this paper,the preparation and humidity sensing characteristics of porous silicon wit
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利用气相化学反应法,在相对低的温度下,于自制石墨反应室中合成出二维半导体β-SiC纳米线网.该方法使用球磨及研磨混合后的Si和SiO2混合粉体及C3H6气体为原材料,通过调整基片
采用浸渍还原法(I-R法)在Nafion离子膜上镀覆纳米Ag,并就AgNO3浓度对SPE电极镀覆纳米银的影响作了研究.研究表明:采用I-R法可制得细致Ag镀层,有效增加Ag的分散度及电极的真实
采用共溅射和多层膜溅射两种不同的溅射方式制备FePt:Ag颗粒膜.MFM和TEM微观结构观测的结果表明:与多层膜溅射制备的FePt:Ag颗粒膜相比,共溅射制备的颗粒膜具有更小的磁畴尺
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本文阐述了用有限元方法模拟研究热障涂层在降温过程中,由于陶瓷层和金属热膨胀系数不匹配以及存在温度梯度所导致的应力,由此得出热膨胀系数的选择依据.并且建立了梯度热障涂层模型,并进行对比.结果证明,梯度涂层应力明显小于双层涂层.
研制了5个LaNi5型贮氢合金试样,分别对5种合金试样电极的电化学放电容量、高倍率充放电和宽温度范围内充放电性能、循环稳定性及其相结构进行了测试和分析.结果表明:Sn及Si的
采用烧结法制备碳化钨复合涂层。采用在45钢基体上涂覆镍基自熔合金及碳化钨粉末工艺,通过真空烧结,制得了性能优良的硬质涂层。分析了所制备的涂层组织、性能及与基体间的界面