用于HIT太阳能电池的本征非晶硅薄膜

来源 :第六届中国功能材料及其应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tanmite123

【摘要】

：

带本征薄层的异质结(HIT)太阳能电池要求本征非晶硅薄膜具有生长速率低,暗电导大,光学带隙宽的特点。采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)制备符合HIT太阳能电池要求的本征非晶硅薄膜,并通过分析薄膜的透射光谱,采用Tauc法计算了薄膜的光学带隙,为约1.87eV.,衬底温度为180℃,放电功率为80W时获得的薄膜性能最佳.

【作者】

：

宋佩珂曾祥斌张锐赵伯芳

【机构】

：

华中科技大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074

【出处】

：

第六届中国功能材料及其应用学术会议

【发表日期】

：

2007年4期

【关键词】

：

本征非晶硅薄膜 HIT PECVD

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