在约束下的形状记忆TiNi(Cu,Pd)薄膜

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以TiNi为基的形状记忆合金是最常用的合金,主要是由于有高的功能输出和优良的抗腐蚀性能。从1990年以来,发现形状记忆薄膜可作为微型激励器中效能最大的传感器,人们对记忆薄膜的兴趣急剧增加。迄今为止,已实现的应用从微型流体部件,像微型阀、微型泵到激励器像用于机器人中 TiNi-based shape memory alloys are the most commonly used alloys, mainly due to their high functional output and excellent corrosion resistance. Since 1990, shape memory films have been found to be the most powerful sensors in microactuators, and interest in memory films has dramatically increased. So far, applications have been implemented from microfluidic components like microvalves, micropumps to actuators like robots
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