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以EMX-SM型电子探针传动机构、分光晶体和谱仪板的调节部件为基础,建立晶体直进波长正比谱仪的失调模型,经过解析,获得反映谱仪状态的直线束方程,推导出聚焦圆正偏离和负偏离判据,得到波谱仪调整方向和具体步骤,结合实例详解谱仪实际调整过程。
EMX-SM型电子探针波谱仪的调整原理和方法
【摘 要】
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以EMX-SM型电子探针传动机构、分光晶体和谱仪板的调节部件为基础,建立晶体直进波长正比谱仪的失调模型,经过解析,获得反映谱仪状态的直线束方程,推导出聚焦圆正偏离和负偏离
【机 构】
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武汉钢铁集团公司研究院
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2010年6期
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