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本发明提供一种通过滤色通道进行缺陷检测的方法和仪器。该检测仪器包括一个电子扫描器或类似的装有一个多线性成像器的装置、一台计算机和软件。本发明的优点是能够提高红外收集速度和／或增加多线性成像装置上所记录的图像的清晰度。这些改进是通过用各个滤色通道收集红外光的办法实现的，这样，诸如灰尘和划痕之类的图像缺陷便可以被去除掉。在本发明的一个结构中，红外信息是通过各个滤色通道从不同的扫描位置上收集到的。在另一个结构中，红绿蓝三个通道是同时用于收集每条扫描线上的图像和检测信息的。