【摘 要】
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厚度低于5μm 的AlMg合金箔材可作为带材切割的原材料应用于Z箍缩物理实验.利用热蒸镀方法,通过控制沉积速率在超光滑的NaCl基片上获得了AlMg薄膜,最终在脱膜后获得了厚度低
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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厚度低于5μm 的AlMg合金箔材可作为带材切割的原材料应用于Z箍缩物理实验.利用热蒸镀方法,通过控制沉积速率在超光滑的NaCl基片上获得了AlMg薄膜,最终在脱膜后获得了厚度低于5μm 的无支撑AlMg箔材.实验对该箔材的厚度均匀性、表面粗糙度、衍射峰位、晶粒尺寸及距表面不同距离下的成份进行了分析表征.实验发现,此热蒸镀法制备的AlMg合金箔材的厚度均匀性优于8%,两面的表面粗糙度均小于180nm,晶粒尺寸约20nm;不同厚度样品的衍射峰位未明显偏移,箔材内应力很小;不同深度下Mg含量稳定分布,而在箔材
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