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期刊论文
磁控溅射镀膜技术简述
磁控溅射镀膜技术简述
来源 :中国青年科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kingjongz
【摘 要】
:
<正>上世纪80年代开始,磁控溅射技术得到迅猛的发展,其应用领域得到了极大地推广。现在磁控溅射技术已经在镀膜领域占有举足轻重的地位,在工业生产和科学领域发挥着极大的作
【作 者】
:
刘瑞鹏
李刘合
【出 处】
:
中国青年科技
【发表日期】
:
2006年08期
【关键词】
:
磁控溅射镀膜
磁控溅射沉积
磁控溅射技术
溅射材料
反应溅射
非平衡磁控溅射
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<正>上世纪80年代开始,磁控溅射技术得到迅猛的发展,其应用领域得到了极大地推广。现在磁控溅射技术已经在镀膜领域占有举足轻重的地位,在工业生产和科学领域发挥着极大的作用。随着对薄膜质量要求的不断改变,此项技术也将不断地完善和发展下去。
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