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加强气体分析测试技术研究为微电子工业振兴服务
加强气体分析测试技术研究为微电子工业振兴服务
来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aaron722
【摘 要】
:
阐述了分析测试工作在国民经济建设中的重要作用,以及气体分析测试、系统污染监测有关基础研究工作对微电子工业振兴的必要性.介绍了SEMI国际际准比组织的有关工作,并提出了国内开展
【作 者】
:
刘光会
【机 构】
:
化工部西南化工研究院
【出 处】
:
低温与特气
【发表日期】
:
1994年1期
【关键词】
:
微电子技术
气体分析
污染
测试
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阐述了分析测试工作在国民经济建设中的重要作用,以及气体分析测试、系统污染监测有关基础研究工作对微电子工业振兴的必要性.介绍了SEMI国际际准比组织的有关工作,并提出了国内开展气体分析测试技术基础研究工作的具体建议.
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