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为适应低转速计量技术发展需要,研制了高精度低转速标准装置,在转速范围0.1～160r/min内,测量扩展不确定度优于5×10-6,k=3.装置采用超精细加工气浮转台,转台控制系统采用高精度位置/速度伺服环路控制技术.介绍了该装置的结构组成及工作原理,给出了测试的实验数据,并进行了不确定度评估.
高精度低转速标准装置的研制
【摘 要】
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为适应低转速计量技术发展需要,研制了高精度低转速标准装置,在转速范围0.1～160r/min内,测量扩展不确定度优于5×10-6,k=3.装置采用超精细加工气浮转台,转台控制系统采用高精
【机 构】
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中国计量科学研究院,北京,100029
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2020年2期
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