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采用自制异丙醇铝,通过溶胶—凝胶法制备了氧化铝凝胶,在低温下烧成Al2O3透明多晶薄膜。用XPS技术探究了加热过程中桥氧的变化及铝氧基团中Al3+配位状态的变化规律。用英国VG公司产ESCALABMarkⅡ型XPS仪,MgKα射线作激发源(1253.6eV),计算机自动录谱、分峰拟合。将干凝胶及其300℃、400℃、600℃、800℃、1000℃的热处理产物依次编号为G1、G2、G3、G4、G5及G6。对上述试样进行XPS测试。对各试样的O1sXPS特征峰的分峰拟合发现,可将其分为两个峰,高能峰表征桥氧O