论文部分内容阅读
利用聚碳硅烷热分解形成的碳化硅,将工作碳化硅颗粒粘结在一起,形成多孔的碳化硅烧结体。文中给出了烧结体的微观分析,热分析和结构分析的结果。同时还给出了烧结时不同 量与常温电阻关系。对实验结果从掺杂,减少富碳和钝化表界面悬挂键几个角度进行了讨论,结果表明三者的影响对电阻率的变化趋势是一致的。