论文部分内容阅读
提出了一种新的互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺片上的互连线模型,模型在考虑互连线金属导体高频效应和衬底效应的基础上,引入了一个电容来表征金属导体通过氧化层在低阻硅衬底中引起的容性耦合特性。建立的互连线模型通过0.18μm CMOS工艺上制作的互连线测试数据验证,频率精度可至50 GHz。
低阻硅CMOS工艺片上互连线模型
【摘 要】
：
提出了一种新的互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺片上的互连线模型,模型在考虑互连线金属导体高频效应和衬底效应的基础上,引入了一个电容来表征金属导体通过氧化层在低阻硅衬底
【机 构】
：
杭州电子科技大学射频电路与系统教育部重点实验室
【出 处】
：
压电与声光
【发表日期】
：
2011年3期
其他文献
资秩学院提供了建筑教育和经验的机会。组织教学单元以提供不同的项目和教授的方法，鼓励学生们既挑战长期的构思，也学习以往有的技能去构筑。设计项目形成了工作的核心，包括讲座
我们认为社会必须保留过去遗留下来的有形的纪念物来为现在和将来的活动提供一个稳定和相关的构架。DesignInc的设计哲学是表达了对未来的信心并反映了过去的成就。我们的设
当今时代,互联网已成为思想文化信息的集散地和社会舆论的放大器。以互联网为代表的新兴媒体,正在深刻改变着媒体传播的内在结构和总体格局,带来了传播领域的革命性变革,成为
方案从城市设计的角度出发．在本地块中央形成一椭圆形广场，并将当初规划中横穿中心区的城市道路改为两条地下单行道，从而将机动交通与步行人流彻底分离、创造一种全新的城市休闲
中国DX信息中心位于上海市内，将成为未来亚洲太平洋地区的情报中枢。在将IT研究开发、信息产业、人才高度集中的信息园整体规划制定完成后，各 种建筑设计将被分阶段建设与完善
本安在建筑体量上强调与环境的契合，内部空间也以多变灵活为主，发挥空间的流动性和内外的渗透性，强调对建筑空间与自然环境的直接体验。