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提高Spindt型场发射冷阴极阵列发射均匀性的方法
提高Spindt型场发射冷阴极阵列发射均匀性的方法
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zj2008263
【摘 要】
:
本文提出采用栅孔直径整匀法以及改进的纵向高阻Si镇流电阻流,提高了Spindt型场发射冷阴极阵列的发射均匀性。
【作 者】
:
张友渝
江泽流
【机 构】
:
河北半导体研究所
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1998年6期
【关键词】
:
FEA
冷阴极
Spindt型
发射均匀性
Electron emissionResistors
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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本文提出采用栅孔直径整匀法以及改进的纵向高阻Si镇流电阻流,提高了Spindt型场发射冷阴极阵列的发射均匀性。
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