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通过高精度压力传感器、薄膜温敏传感器和管式应变计传感器的电子束封装焊接实践,讨论了电子束焊在超薄精密传感器封装焊接中需要注意的工艺因素。
超薄精密传感器的电子束封装焊接
【摘 要】
：
通过高精度压力传感器、薄膜温敏传感器和管式应变计传感器的电子束封装焊接实践,讨论了电子束焊在超薄精密传感器封装焊接中需要注意的工艺因素。
【机 构】
：
中国科学院电子学研究所,中国科学院电子学研究所
【出 处】
：
焊接
【发表日期】
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1993年3期
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