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采用改进的热丝化学气相沉积装置，在四类六种不同性质衬底材料上研究了金刚石膜成核与生长特性。研究了基片材料特性，沉积条件及基片预处理对金刚石膜成核与生长特性的影响。实验结果表明，在六种不同性质的材料上都能生长多晶金刚石膜，与是否形成碳化物中间层无关。反应气压，衬底温度和ＣＨ４／Ｈ２比例对其形貌，质量，成核密度的影响趋势是一致的，但也有它们各自的特点，对提高金刚石摸的质量及膜与基片的结构强度提出了一些