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激光测温是一种先进的温度测量方法，它具有测量准确，反应速度快、非接触等特点，尤其适用于测量真空镀膜中基板的温度。但目前的测量对象只能是固定的基板，因而还不完全实用。
旋转基板的激光测温
【摘 要】
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激光测温是一种先进的温度测量方法，它具有测量准确，反应速度快、非接触等特点，尤其适用于测量真空镀膜中基板的温度。但目前的测量对象只能是固定的基板，因而还不完全实用。
【机 构】
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复旦大学物理系
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2000年3期
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