测试与测量:吉时利发布ACS V3.2版

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吉时利(Keithley)仪器公司日前发布用于器件级、晶圆级和晶匣级半导体测试与特征分析的自动特征分析套件ACS V3.2版。V3.2版新增更加强大的多点并行测试功能、面向管芯分拣应用成品分装功能、新晶圆级打点功能,支持16个料箱的优先分装功能、并以1fA电流测量分辨率支持吉时利2635和2636型系统数字源表。
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