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期刊论文
陶瓷球研磨成型机理的研究
陶瓷球研磨成型机理的研究
来源 :机械工程师 | 被引量 : 0次 | 上传用户:leaffan1985
【摘 要】
:
讨论了陶瓷球的成球机理,分析了一种新的研磨加工方法,即采用三块能够独立选择的研磨盘,通过控制研磨盘的转速,调整自旋转角的大小,可在较大的范围内取值,同时对计算机仿真和
【作 者】
:
常敏
吕冰海
王志伟
楼飞燕
袁巨龙
【机 构】
:
浙江工业大学
【出 处】
:
机械工程师
【发表日期】
:
2003年9期
【关键词】
:
陶瓷球
成球机理
去除效率
研磨轨迹
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讨论了陶瓷球的成球机理,分析了一种新的研磨加工方法,即采用三块能够独立选择的研磨盘,通过控制研磨盘的转速,调整自旋转角的大小,可在较大的范围内取值,同时对计算机仿真和实验的结果进行了对比.结果表明:该方法结合化学机械抛光(CMP)等先进的抛光工艺,能够有效地提高陶瓷球的加工效率和质量.
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