国外半导体气体传感器的发展概况

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前言气体传感器在一般家庭、工厂里出现中毒、爆炸或环境污染等问题日益严重的情况下,越来越受到人们的关注,在各种传感器中,占有非常重要的地位。人们很早就知道半导体特别是金属氧化物半导体在接触O_2、NO_2、CO等气体时,它的电导率成功函数将发生变化。从五十年代到六十年代初期相继发表了Hauffe、Weitz Preface Gas sensors in the general family, the factory appeared poisoning, explosion or environmental pollution problems are more and more serious, more and more people’s attention, in a variety of sensors, occupies a very important position. It has long been known that the conductivity of semiconductors, especially metal oxide semiconductors, will change when they contact O 2, NO 2, CO and other gases. From the fifties to the early sixties Hauffe, Weitz published
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