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本文介绍了硅片的几何参数：直径、厚度、平整度、粗糙度、弯曲度、翘曲度等的含义和测试原理及方法。
硅片的几何参数及测试
【摘 要】
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本文介绍了硅片的几何参数：直径、厚度、平整度、粗糙度、弯曲度、翘曲度等的含义和测试原理及方法。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
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现代制造技术与装备
【发表日期】
：
2012年6期
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