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采用非平衡闭合场磁控溅射方法在Cr12MoV冷作模具钢表面制备不同Mo含量的CrMoN涂层，通过XRD、SEM、显微硬度和磨损试验分析涂层的相结构、表面性能和耐磨性。实验结果表明，CrMoN涂层均呈面心立方结构，无明显的柱状晶，其厚度随Mo含量的增加而增厚。CrMoN涂层显著提高了Cr12MoV钢的表面硬度和耐磨性，尤其是中等Mo含量（20．72％Mo）的涂层。经18h冲击磨损后，该涂层的磨损速率（5．3×10^-5mm3／h）明显低于未表面处理试样（1．0×10^-3mm3／h），微