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退火温度对CoCrPt／Ag纳米颗粒膜的影响

来源 :河北师范大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hzqifeng

【摘 要】

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在室温下，应用磁控溅射法制备了CoCrPt（25nm）／Ag（40nm）纳米颗粒薄膜，随后进行了退火CoCrPt靶和Ag靶分别采用射频溅射和直流对靶溅射模式．用振动样品磁强计（VSM）研究了Ag衬底层对CoCrPt

【作 者】

：

张罕玮 高凤菊 封顺珍 孙会元 

【机 构】

：

河北师范大学物理科学与信息工程学院

【出 处】

：

河北师范大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2006年6期

【关键词】

：

颗粒膜 磁记录 磁控溅射 矫顽力 后退火 granular films  magnetic recording  magnetron sputtering  c 

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目（10274018）,河北省教育厅研究基金资助项目（2002116）,河北师范大学重点学科资助项目（Z200102）

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在室温下，应用磁控溅射法制备了CoCrPt（25nm）／Ag（40nm）纳米颗粒薄膜，随后进行了退火CoCrPt靶和Ag靶分别采用射频溅射和直流对靶溅射模式．用振动样品磁强计（VSM）研究了Ag衬底层对CoCrPt磁特性的影响，发现650℃退火后的样品，矫顽力达到最大．扫描探针显微镜（SPM）观测显示颗粒的尺寸随退火温度的升高而增加；X射线衍射（XRD）图样表明，样品具有六角密积结构．

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