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阐述了采用硅悬臂梁制造的脉象传感器结构、设计和温度补偿原理。实验结果表明：补偿后的传感器具有灵敏度高、稳定性好，线性度为1％FS（0-5N），重复性为0．5％FS，灵敏度为50mV／N。给出的温度补偿晶体管对该脉象传感器的灵敏度温度漂移补偿效果好，有推广应用前景。
硅悬臂梁脉象传感器温度补偿
【摘 要】
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阐述了采用硅悬臂梁制造的脉象传感器结构、设计和温度补偿原理。实验结果表明：补偿后的传感器具有灵敏度高、稳定性好，线性度为1％FS（0-5N），重复性为0．5％FS，灵敏度为50mV／N。给出的温度
【机 构】
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黑龙江大学集成电路重点实验室
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2006年4期
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