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VHF-PECVD制备微晶硅薄膜及其微结构表征研究

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：baobeidjlj

【摘 要】

：

采用VHF-PECVD技术制备了系列不同衬底温度的硅薄膜.运用微区拉曼散射(Micro-Raman)和X射线衍射(XRD)对薄膜进行了结构方面的测试分析.Micro-Raman测试结果表明:随衬底温度的

【作 者】

：

张晓丹 高艳涛 赵颖 朱锋 魏长春 孙建 耿新华 熊绍珍 

【机 构】

：

南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室（南开大学

【出 处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD) 微晶硅 衬底温度 very high frequency plasma enhanced chemical 

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展计划(973计划)，教育部科学技术研究项目，国家高技术研究发展计划(863计划)

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采用VHF-PECVD技术制备了系列不同衬底温度的硅薄膜.运用微区拉曼散射(Micro-Raman)和X射线衍射(XRD)对薄膜进行了结构方面的测试分析.Micro-Raman测试结果表明:随衬底温度的升高,薄膜逐渐由非晶向微晶过渡,晶化率(Xc)逐渐增大.XRD的结果显示样品的择优取向随衬底温度的升高而变化,(220)方向计算得出样品的晶粒尺寸逐渐变大.

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