【摘 要】
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使用红外探测器及读出电路,研制成功非制冷红外探测系统.探测器用二极管作为温度传感器,使其与集成电路工艺相兼容.采用了新的器件结构,使得填充因子从20％提高到80％.器件的微机
【机 构】
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中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室,江苏物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心
【基金项目】
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Foundation items： Supported by National Scie：nce and Technology Major Project of the Ministry of Science and Technology of China （2011 ZX025074）04）
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使用红外探测器及读出电路,研制成功非制冷红外探测系统.探测器用二极管作为温度传感器,使其与集成电路工艺相兼容.采用了新的器件结构,使得填充因子从20％提高到80％.器件的微机械结构面积为35 μm×35 μm.读出电路的失调电压为3μV.探测器的输出噪声为2μV.探测器的电压响应率为7 894.7 V/W,黑体探测率D＊为1.56×10^9 cmHz1/2/W,噪声等效温差为330 mK,响应时间为27 ms.
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