多元组份薄膜的特征X射线强度的蒙特卡罗模拟计算方法

来源 :华东师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:feier068
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作者提出了入射电子在多元组份薄膜中所激发出的薄膜中各种元素的包括初次X射线和二次荧光在内的特征X射线强度的蒙特卡罗模拟计算方法.用这一方法模拟计算了多个薄膜样品的特征X射线强度比,得到了与电子探针显微分析仪器测定的实验数据相一致的模拟结果.
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