【摘 要】
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室温下通过直流反应磁控溅射的方法，利用碳钛镶嵌靶在Ar／O2气氛中制备了碳掺杂纳米TiO2薄膜，并通过X射线衍射（XRD）、UV—Vis透射光谱以及光电化学的方法对薄膜进行了表征．XRD测试结
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室温下通过直流反应磁控溅射的方法，利用碳钛镶嵌靶在Ar／O2气氛中制备了碳掺杂纳米TiO2薄膜，并通过X射线衍射（XRD）、UV—Vis透射光谱以及光电化学的方法对薄膜进行了表征．XRD测试结果表明，靶中碳和钛的面积比小于0．10时，碳掺杂的引入有利于TiO2薄膜的晶格生长，并随靶中碳面积的增加，薄膜的结晶度也相应提高．由透射光谱计算得到的禁带宽度表明，靶中碳和钛的面积比为0．05时，薄膜的禁带宽度由纯TiO2薄膜的3．4eV减小到3．1eV．光电测试结果表明，靶中碳和钛的面积比小于0．10时，碳的引入可
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