论文部分内容阅读
KLA—Tencor公司近日推出了PROLITHTM12，这是一款业界领先的新版计算光刻工具。此新版工具让领先的芯片制造商及研发机构的研究人员能够以具有成本效益的方式探索与极紫外线（EUV）光刻有关的各种光罩设计、光刻材料及工艺的可行性。
KLA—Tencor推EUV计算光刻工具PROLITHTM12
【摘 要】
：
KLA—Tencor公司近日推出了PROLITHTM12，这是一款业界领先的新版计算光刻工具。此新版工具让领先的芯片制造商及研发机构的研究人员能够以具有成本效益的方式探索与极紫外线（EU
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2008年10期
其他文献
由于超紫外线光刻技术（extreme ultraviolet，EUV）的发展迟缓，Intel透露正在开发一种可能将光学扫描仪扩展到22nm制造节点的可制造性设计。Intel正在开发的这种计算光刻（computatio
过去的一年是半导体行业快速发展的一年。根据SEMI年度报告，整个全球半导体设备的销售额达到353．1亿美金，同比增长59．13％，可谓成绩斐然。但是进入今年一季度以来，整个全球半导体市场
康宁公司与Soitec集团（Euronext Paris）日前宣布，就携手开发适用于新一代平板移动显示器市场的高性能单晶硅薄膜玻璃基板（SiOG）技术事宜达成合作协议。自此，双方将致力于为有机发光
目的：比较微创单侧椎弓根螺钉固定椎间融合与经典双侧椎弓根螺钉固定椎间融合治疗腰椎退行性疾病的临床疗效。方法：选取腰椎退行性疾病患者98例,所有患者术前均有不同程度的下
如何做好猪场消毒,对控制疫病非常关键。一旦未引起重视,将可能给猪场带来不可估量的经济损失。基于此,列举小规模猪场消毒误区,提醒养殖者重视猪场消毒并避免这些误区,以供
中芯国际昨天宣布，该公司中部地区第一条Φ300mm集成电路生产线项目在湖北武汉市的东湖国家高新技术区正式开工建设。该项目由湖北省、武汉市和东湖高新技术区联合投资建设，产
色素绒毛结节性滑膜炎（pigmented villonodular synovitis,PVNS）是一种较少见、性质介乎炎症和良性肿瘤之间的滑膜疾病,绒毛型更近似炎症,结节型似良性肿瘤[1]。本病常以单个关
韦小宝赢了钱高高兴兴地回来，海大富就教育他：要借钱给温家兄弟，因为钱要借给对自己有用的人。这么轻描淡写的一句话，其实是人生官场职场的一条金科玉律，当然我们的老祖宗也早就总
货币资金包括现金、银行存款及其他货币资金,是单位内部流动性最强、控制风险最高的资产,如果疏于管理,控制不严,很容易发生贪污、挪用公款等违法乱纪的行为。为了加强对货币
在混凝土施工中,由于混凝土的水化热、收缩容易产生温度应力和收缩应力,混凝土结构变形产生结构内力,这些就容易导致混凝土出现裂缝问题.本文将从以下几方面对混凝土裂缝问题