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一种创新的晶圆级热载子并行测试方法
一种创新的晶圆级热载子并行测试方法
来源 :今日电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhuifeng188
【摘 要】
:
引言随着VLSI集成度的日益提高,MOS器件尺寸不断缩小至亚微米乃至深亚微米,热载子效应已成为最严重的可靠性问题之一。现今,为了降低成本,减少周期,不断的提高工艺,晶圆级的
【作 者】
:
王伟
【机 构】
:
上海华力微电子有限公司
【出 处】
:
今日电子
【发表日期】
:
2012年4期
【关键词】
:
测试方法
热载
晶圆
并行
创新
深亚微米
器件尺寸
可靠性问题
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引言随着VLSI集成度的日益提高,MOS器件尺寸不断缩小至亚微米乃至深亚微米,热载子效应已成为最严重的可靠性问题之一。现今,为了降低成本,减少周期,不断的提高工艺,晶圆级的器件可靠性测试愈来愈被广泛的应用。
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