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光电子学与光电子产业专题系列介绍:用于X射线光学的多层膜
光电子学与光电子产业专题系列介绍:用于X射线光学的多层膜
来源 :物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:daTyrant
【摘 要】
:
用于X射线,特别是软X射线(波长范围约为30-1nm)光学中的多层膜近十年来引起了人们的广泛重视,取得了许多重要进展.本文对这类多层膜的特点、制备和检测方法以及应用等作简要介绍.
【作 者】
:
曹健林
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械研究所,应用光学国家重点实验室
【出 处】
:
物理
【发表日期】
:
1991年5期
【关键词】
:
X射线光学
光电子学
多层膜
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用于X射线,特别是软X射线(波长范围约为30-1nm)光学中的多层膜近十年来引起了人们的广泛重视,取得了许多重要进展.本文对这类多层膜的特点、制备和检测方法以及应用等作简要介绍.
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