力电耦合MEMS器件非线性行为的模拟

来源 :中国微米/纳米第六届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yhj740821

【摘要】

：

大多数MEMS器件(如梁、膜等)工作时本身是非线性的,因此很难用刚体假设的方法等效为集总参数的宏模型.模态分析法提供了一种有效的方法.本文以静电驱动两端固定梁为例,介绍了

【作者】

：

孙振新黄庆安李伟华

【机构】

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东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096

【出处】

：

中国微米/纳米第六届学术年会

【发表日期】

：

2003年8期

【关键词】

：

微机电系统动态宏模型模态分析法硬件描述语言机电耦合非线性行为

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大多数MEMS器件(如梁、膜等)工作时本身是非线性的,因此很难用刚体假设的方法等效为集总参数的宏模型.模态分析法提供了一种有效的方法.本文以静电驱动两端固定梁为例,介绍了存在机电耦合时的公式,然后利用硬件描述语言VHDL-AMS对其描述,建立相应的动态宏模型,给出了模拟和分析结果,并与利用Coventor软件分析的结果进行了比较.

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