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本文概述了光刻技术的广泛应用并探讨其今后的发展方向,分析比较了几种常见立体光刻技术的优缺点,重点介绍了全息光刻技术在制备光子晶体方面的应用,并总结了我们小组的研究成果。
应用于微纳光子器件的立体光刻研究进展
【摘 要】
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本文概述了光刻技术的广泛应用并探讨其今后的发展方向,分析比较了几种常见立体光刻技术的优缺点,重点介绍了全息光刻技术在制备光子晶体方面的应用,并总结了我们小组的研究
【机 构】
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中山大学光电材料与技术国家重点实验室
【出 处】
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湖南科技学院学报
【发表日期】
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2010年4期
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