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采用中频脉冲磁控溅射系统制备高透过率、高电导率的平面ZnO薄膜。电阻率为5．57×10^-4Ω·cm。载流子浓度2．2×10^20cm^-3，霍尔迁移率40．1cm^2／V·s，可见光范围内（400～800nm）的平均透过率大于85％。用酸腐蚀的方法可以获得绒面效果。分析了气压和温度对绒面结构的影响，获得了适合薄膜太阳能电池要求的绒面ZnO透明导电薄膜。