单平面EWOD器件在化学发光检测中的可靠性研究

来源 :复旦学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：hyh900

【摘要】

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研究了单平面透明介质上的电润湿（Electrowetting on Dielectrics,EWOD）数字微流体器件在化学发光检测器中的两个可靠性问题.一是通过对介质层的研究,使用PVD制备300nm Ta_2O_5

【作者】

：

章凯迪曾智曾祥宇陶国炜周嘉

【机构】

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复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室,复旦大学微电子学院

【出处】

：

复旦学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2015年6期

【关键词】

：

介质上的电润湿可靠性化学荧光法葡萄糖检测

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研究了单平面透明介质上的电润湿（Electrowetting on Dielectrics,EWOD）数字微流体器件在化学发光检测器中的两个可靠性问题.一是通过对介质层的研究,使用PVD制备300nm Ta_2O_5介质层使驱动电压降低至20.7V,在驱动电压26.9V下速度达到40mm/s;二是通过设置片上加热器解决了Teflon的失效问题,使用1W功率加热5min实现片上疏水角恢复至120°.集成嵌入式加热器的EWOD器件用于葡萄糖检测时,最高灵敏度达到0.12V/（μmol·L^

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