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用圆光栅作分度基准的高精度仪器的故障判断
用圆光栅作分度基准的高精度仪器的故障判断
来源 :计量技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiawa371236585
【摘 要】
:
用高精度圆光栅作分度基准的圆分度光电检验仪、测角仪和光电圆刻机,一旦出现故障,判断起来很困难。本文提供一种简易的判别办法,并提供了可参考的测试电路。
【作 者】
:
杨进堂
杨庆辉
【机 构】
:
中科院长春光学精密机械研究所,吉林省技术监督学校
【出 处】
:
计量技术
【发表日期】
:
1997年12期
【关键词】
:
圆光栅
分度基准
高精度仪器
故障判断
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用高精度圆光栅作分度基准的圆分度光电检验仪、测角仪和光电圆刻机,一旦出现故障,判断起来很困难。本文提供一种简易的判别办法,并提供了可参考的测试电路。
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