【摘 要】
:
本文介绍了硅的铜离子化学机械抛光法,指出这是获得高镜面、快速抛光的方法之一.该方法与络离子抛光法相比,工效可以提高十倍左右.现已成功地应用于CCD工艺中.
This paper i
【机 构】
:
四机部1444研究所,四机部1444研究所,四机部1444研究所
论文部分内容阅读
本文介绍了硅的铜离子化学机械抛光法,指出这是获得高镜面、快速抛光的方法之一.该方法与络离子抛光法相比,工效可以提高十倍左右.现已成功地应用于CCD工艺中.
This paper introduces the copper chemical mechanical polishing of silicon, pointing out that it is one of the methods to obtain high specular and rapid polishing.Compared with the complexion polishing method, this method can enhance the work efficiency by about ten times and has been successfully applied to the CCD process in.
其他文献
一、成组夹具的编号成组夹具的编号,应区别于一般专用夹具和通用夹具,并能反映其结构特性。同时,成组夹具的编号不仅有通用基体和可换调整元件各自的单独编号,还要反映出各
教材是体现教学大纲、教学内容和教学方法的知识载体,是教师实施教学的重要工具之一。目前全国尚未有成人英语统编教材,各地所采用的教材也不同,这种状况,严重影响了成人英语教学
目前,J_(Ⅰc)的测试引起了国内外的厂泛重视。三点弯曲试样得到了最广泛的应用。我们曾导出J=(2U/B(W-a) (1)的关系,式中U是试样的应变能。Rice等在[2]中所建议的是另一关系
本文概述了在西藏高原长达450公里左右的南北向测线上取得九次湖中水下爆炸地震记录的处理结果。通过数字处理、拟合和反演等计算,得出了该地区地壳与上地幔的成层结构和速度
厚度S为2~6毫米的薄板封头零件,在食品和化工生产设备中,得到广泛的应用,其种类很多,常用的有碟形封头和椭圆形封头两种,结构如图一。 根据使用对象的不同,在食品和化工设备
一、盐湖概况西藏高原现代内陆盐湖数量多、分布广、海拔高、资源富,驰名国内外。尤以昆仑山脉以南,念青唐古拉山脉以西,冈底斯山脉以北的藏北(羌塘)高原,盐湖星罗棋布,是我
日前,中共中央颁布实施《中国共产党巡视工作条例》。王岐山同志在学习贯彻条例电视电话会议上强调,制度的生命在于执行,执行离不开责任担当,要不折不扣贯彻落实,强化党内监
各位领导、各位代表、各位来宾:中国注册会计师协会第四次全国会员代表大会今天隆重开幕了!出席今天大会的有财政部和国务院有关部门的领导同志,有来自注册会计师行业和相关
华北地区奥陶系沉积厚度大,分布广,以海相碳酸盐岩为主。本文所指范围北自河北平泉、山西浑源一带,南到豫西、淮南,西自太行山,东至郯庐断裂,约60余万平方公里。被覆盖的奥
3月5日,著名京剧表演艺术家尚长荣、李炳淑及其琴师李寿成等,在西安建筑大厦多功能厅与陕西京剧艺术促进会200余名京剧戏迷票友见面联欢。下午二时,尚长荣等人走进大厅,等候