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期刊论文
碳化硅晶须制备工艺
碳化硅晶须制备工艺
来源 :苏州大学学报(自然科学) | 被引量 : 0次 | 上传用户:kernel_gdi_user
【摘 要】
:
本文采用稻壳作为硅源,利用二氧化硅还原法,研究批量制备碳化硅晶须的新工艺及影响碳化硅晶须生长的几个重要因素。利用SEM分析手段对自制的碳化硅晶须进行了形貌、结构的的观察分
【作 者】
:
薛青
李亚东
汤浩
刘伟群
【机 构】
:
苏州大学分析测试中心,苏州大学物理系,苏州大学物理系93届毕业生,93届毕业生
【出 处】
:
苏州大学学报(自然科学)
【发表日期】
:
1995年4期
【关键词】
:
稻壳
碳化硅
晶须
制备
单晶
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本文采用稻壳作为硅源,利用二氧化硅还原法,研究批量制备碳化硅晶须的新工艺及影响碳化硅晶须生长的几个重要因素。利用SEM分析手段对自制的碳化硅晶须进行了形貌、结构的的观察分析。
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