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SiO2钝化膜中钠离子的二次离子质谱分析
SiO2钝化膜中钠离子的二次离子质谱分析
来源 :现代仪器与医疗 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wzy4225
【摘 要】
:
采用二次离子质谱分析手段,检测半导体晶片SiO2钝化膜中钠离子的浓度分布,采用标样法,计算得出相对灵敏度因子,给出浓度随深度的定量测试结果 ,结果表明,该方法检测灵敏度较
【作 者】
:
马农农
何友琴
王东雪
陈潇
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
:
现代仪器与医疗
【发表日期】
:
2013年04期
【关键词】
:
钝化膜
钠离子浓度
二次离子质谱分析
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采用二次离子质谱分析手段,检测半导体晶片SiO2钝化膜中钠离子的浓度分布,采用标样法,计算得出相对灵敏度因子,给出浓度随深度的定量测试结果 ,结果表明,该方法检测灵敏度较高,既给出钠离子在钝化膜中的分布,也可以得到面密度,并研究了钠离子的分布特点。
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