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采用二次离子质谱分析手段,检测半导体晶片SiO2钝化膜中钠离子的浓度分布,采用标样法,计算得出相对灵敏度因子,给出浓度随深度的定量测试结果 ,结果表明,该方法检测灵敏度较高,既给出钠离子在钝化膜中的分布,也可以得到面密度,并研究了钠离子的分布特点。
SiO2钝化膜中钠离子的二次离子质谱分析
【摘 要】
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采用二次离子质谱分析手段,检测半导体晶片SiO2钝化膜中钠离子的浓度分布,采用标样法,计算得出相对灵敏度因子,给出浓度随深度的定量测试结果 ,结果表明,该方法检测灵敏度较
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
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现代仪器与医疗
【发表日期】
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2013年04期
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