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扩散硅固态压阻传感器广泛应用于航空航天等军事和民用工业中，而它的压阻应变传感元件主要是用压阻效应制成的，并具有优于其他传感元件的特点，本文详细论述了扩散硅压阻传感器的发展过程及我国的研究现状，并展望了其未来向即小型化，数字化，智能化，系列化发展的方向。
扩散硅压阻传感技术的研究现状与发展趋势
【摘 要】
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扩散硅固态压阻传感器广泛应用于航空航天等军事和民用工业中，而它的压阻应变传感元件主要是用压阻效应制成的，并具有优于其他传感元件的特点，本文详细论述了扩散硅压阻传感器的
【机 构】
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河北工业大学
【出 处】
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河北工业大学成人教育学院学报
【发表日期】
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2000年2期
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