垂直喷淋式原子层沉积反应器设计及数值模拟

来源 :科学技术与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wef123456

【摘要】

：

提出垂直喷淋式原子层沉积（vertical showehead atom layer depositon reactor,VS-ALDR）反应器的概念。依据原子层沉积的基本原理,对VS-ALDR进行了四种形式的进口设计方案,分别

【作者】

：

于海群左然

【机构】

：

江苏大学能源与动力工程学院

【出处】

：

科学技术与工程

【发表日期】

：

2011年30期

【关键词】

：

垂直喷淋 ALD 扇形进口 vertical showehead ALD fan-shped inlet simulation

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

提出垂直喷淋式原子层沉积（vertical showehead atom layer depositon reactor,VS-ALDR）反应器的概念。依据原子层沉积的基本原理,对VS-ALDR进行了四种形式的进口设计方案,分别为（1）无间隙扇形分隔进口设计;（2）带中心孔的无间隙扇形分隔进口设计;（3）间隙扇形分隔进口设计;（4）带中心孔的间隙扇形分隔进口设计。在fluent软件中对上述4种设计方案进行流场、温场以及浓度场模拟。根据模拟结果并应用传质理论,对VS-ALDR反应器中反应物浓度的分布进行分析

其他文献

单信标导航信号检测方法研究

单信标导航方法利用单一信标发射信号，在UUV端接收，通过对信号发射和接收之间的传输时间差的测量换算得到与信标的距离，再加上航行器的运动参量信息对当前位置进行解算。传输时

期刊

单信标短时傅里叶变换时频分析single beacon ToA STFT time-frequency analysis

ZnCr2O4陶瓷的压敏特性研究

报道制备的一种具有湿－热－压的多功能传陶瓷ＺｎＣｒ２Ｏ４的压敏物质的研究结果

期刊

ZnCr2O4陶瓷压敏特性半导体陶瓷烧成ZnCr_2O_4 Ceramics Voltage-Sensitive Characteristic

倾斜小椭圆型储油罐标定的计算

针对小椭圆罐体在实际应用中常见的三种纵向倾斜情况,分别建立了油量与油位高度之间的二重积分模型。用MATLAB得到相应的数值积分方程并进行数值计算。由模拟值与实测值的误

期刊

油罐倾斜储油量油位高度计算oil tank tilted oil reserves oil level height calculation

可信时间戳技术在医药冷链物流信息安全监管中的应用研究

随着《中华人民共和国密码法》的正式发布,数据安全再次成为冷链物流关注的焦点。文章详细分析了医药冷链物流及相关数据的产生过程,建议将数据安全领域的时间戳技术引入冷链

期刊

时间戳技术医药冷链信息安全监控

高产优质大叶茶新品系“云抗12号”选育研究

云抗12号是从云南大叶茶群体一南糯大叶茶中采用系统选育法培育而成．经过多年的品种比较试验和区域性试验，表现为：植株乔木型，中生种，树姿开张；叶长椭圆形，叶色黄绿，芽叶茸毛多，持嫩性

期刊

云抗12号大叶种选育高产优质Yunkang 12 large leaf variety breeding high yield superior

二维曲面的几个定理

本文给出了二维不可定向曲面和二维有边曲面的几个定理,给出了T1上的(k,m)-正则图,证明了K7不能二胞腔嵌入T2.

期刊

二维不可定向曲面二维有边曲面(km)-正则图二胞腔嵌入亏格组合数学图论two-dimensional nonorientable surface

流化床加氧烟气循环时NOx,N2O和SO2的排放特性

用流化床燃烧煤炭已能有效地控制二氧化硫的排放，而对现已成为主要的污染物之一的氮氧化物的控制却不成熟。本文在烟气循环并加入纯氧的条件下，研究氮氧化物和二氧化硫的排放特

期刊

流化床烟气循环燃烧煤炭二氧化硫控制Fluidised Bed combustor flue gas recycle combustion

基于非均匀五株采样滤波器组的图像阈值除噪

针对传统二维小波缺少多方向特性和传统多方向滤波器组不能进行多尺度分解的缺陷,提出了一种具有多尺度多方向特性的非均匀五株采样滤波器组。该滤波器组每层分解具有一个低频子带和十二个高频子带,并可通过对低频子带的重复分解得到图像的多尺度信息,实现了多方向分解和多尺度分析的统一完成。将提出的非均匀五株采样滤波器组结合统一阈值方法应用于图像除噪。经试验验证,与小波统一阈值除噪相比,所提出的方法对除噪后的图像无

期刊

小波变换多方向滤波器组五株采样统一阈值图像除噪wavelet thansform directional filter banks quincunx

星载SAR地面目标回波模拟的RTPC与2DFFT算法对比

对经典的RTPC算法进行了仿真实验。分别对静态点、点阵和面目标进行回波模拟，用多普带力法成像算法验证了回波的正确性和有效性。对2DFFT算法进行了仿真实验，模拟了静态点、点

期刊

合成孔径雷达(SyntheticAPERTURERADARSAR)星载SAR回波模拟距离时域脉冲相干法二维频域快速傅氏变换法SAR space

三维软件在应力分析中的应用

本文对手工计算的应力分析结果与三维软件计算的应力分析结果进行了对比,结果表明:三维软件的计算结果与手工计算的结果基本一致,完全可以作为工程计算的设计依据。

期刊

应力分析径向应力径向应变位移stress analysis radial stress radial strain displacement

垂直喷淋式原子层沉积反应器设计及数值模拟

与本文相关的学术论文