MMI阵列波导光栅复用／解复用器的研制

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wusyun

【摘要】

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详细分析了基于自镜像效应的MMI DMUX器件的基本工作原理，在此基础上，在SOI材料上完成了对8信道MMI DMUX的具体设计，该器件的输入，输出单模波导采用Soref的大截面脊形光波导理论

【作者】

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马慧莲余金中等

【机构】

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浙江大学信电系光电子研究所,集成光电子学国家重点实验室

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2001年7期

【关键词】

：

阵列波导光栅复用/解复用器多模干涉有限差分光束传输法 arrayedwaveguide grating (AWG) MUX/DMUX multimode

【基金项目】

：

国家自然科学基金 (696770 12 ),,国家重点基础研究发展规划 (G19990 3 3 10 4),,集成光电子学国家重点联合实验室资助项目

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详细分析了基于自镜像效应的MMI DMUX器件的基本工作原理，在此基础上，在SOI材料上完成了对8信道MMI DMUX的具体设计，该器件的输入，输出单模波导采用Soref的大截面脊形光波导理论进行优化设计，最后获得了当输入，输出单模波导宽度为5um，SIE多模波导宽度和长度分别为72um和6313.4um时，该器件对8信道波长的隔离度均在35dB以上，且理论传输损耗＜0.18dB.

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