【摘 要】
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总结了薄膜应力的一些测量方法.分析了利用测量基片弯曲曲率的激光宏观变形分析法--激光干涉法、激光束偏转法的理论依据及其测量原理,计算了各种测量方法的测量精度.激光干
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总结了薄膜应力的一些测量方法.分析了利用测量基片弯曲曲率的激光宏观变形分析法--激光干涉法、激光束偏转法的理论依据及其测量原理,计算了各种测量方法的测量精度.激光干涉法的精度可达0.92%,可测量的最小应力值为15.7MPa;激光束偏转法较低,为2.12%,可测量的最小应力值为25.5MPa,空间分辨率低,约为100μm.
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