【摘 要】
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射流式真空发生器抽吸侧通常安装有真空检测元件和控制元件等，以实现自动吸着、实时检测等功能。但是，真空检测元件和控制元件等气动真空元件的流阻会导致其流量特性发生改变，并
【机 构】
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南京理工大学机械工程学院,东京工业大学精密工学研究所
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射流式真空发生器抽吸侧通常安装有真空检测元件和控制元件等，以实现自动吸着、实时检测等功能。但是，真空检测元件和控制元件等气动真空元件的流阻会导致其流量特性发生改变，并伴随延长吸着响应时间。为了定量地描述气动真空元件的流阻对真空发生器流量特性的影响，该课题先采用等温容器对真空发生器静态流量特性进行了测量，并结合小孔流量特性的表达式，推导出存在流阻时真空输出端压力与流量关系的数学表达式；再根据真空回路中流量与压力的物理关系，提出了判断流阻对抽吸流量影响程度的无量纲数Gr＊；接着，测试真空输出端压力响应特性，并
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