光瞳滤波投影光刻实验研究

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介绍了一套自行研制的用于光瞳滤波实验的投影光刻实验系统,其物镜光瞳处预留出放滤波器的位置,可方便取放滤波器。在理论分析的基础上,开展了光刻对比实验研究,实验研究,实验研究结果表明光瞳滤波能大幅度提高投影光刻成像系统分辨力,并增大焦深,是一种比较有效地提高投影光刻成像质量的方法。
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