【摘 要】
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本文提出了目前涂层硬度测试中存在的一问题。由于使用载荷偏高,不是膜层有被刺穿的危险,就是因基底材料影响而使硬度值失实。经验指出,为获得与基底材料无关的膜层真实硬度
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本文提出了目前涂层硬度测试中存在的一问题。由于使用载荷偏高,不是膜层有被刺穿的危险,就是因基底材料影响而使硬度值失实。经验指出,为获得与基底材料无关的膜层真实硬度值,务必使压头下的塑变区局限在膜层内部,这就要求在载荷作用下,压痕的深度t和薄膜厚度D的比值(t/D)必须小于0.1～0.2,且此比值随薄膜材料不同而异。摸拟计算的结果也证实了这点。最后,笔者建议采用负荷小于10~(-2)N的超小负荷显微硬度计(UItramicro hardness Tester)可满意地进行各种膜层的测量。
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